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本发明涉及一种半导体制造执行系统提前搬送的方法，包括：设备工艺完成后，设备自动化系统向制造执行系统发送请求指令；制造执行系统接收到请求指令后，检查设备是否满足提前搬送的条件；如果满足条件，则自动化模块通过搬运模块向物料控制系统发送叫车请求指令；物料控制系统通过指令控制自动物料搬送系统提前叫车；制造执行系统回复出站结果。本发明通过识别批次工艺结束到设备端口的时间，根据设备端口设置提前叫车时间，让批次在制造执行系统中以出站或者分拣完成事件来提前触发下达搬送命令给物料控制系统，从而实现一定程度的提前搬
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117790367A
(43)申请公布日2024.03.29
(21)申请号202311819727.8
(22)申请日2023.12.27
(71)申请人上海哥瑞利软件股份有限公司
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