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等离子体处理装置和等离子体激励用天线的线圈保持件.pdfVIP

等离子体处理装置和等离子体激励用天线的线圈保持件.pdf

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    本发明涉及等离子体处理装置和等离子体激励用天线的线圈保持件。在等离子体处理时适当地抑制RF电路中的异常放电的发生。一种等离子体处理装置，其包括处理容器、配置于处理容器的内部并载置作为处理对象的基板的载物台、配置于处理容器的上方的等离子体激励用天线、保持等离子体激励用天线的线圈保持件和向等离子体激励用天线供给高频电力的高频电源，线圈保持件包括多个以自线圈保持件的中央向外侧突出的方式呈放射线状配置的梁状构件和自梁状构件向下方悬吊地安装的夹钳状构件，夹钳状构件的上端利用螺纹构件支承于梁状构件，夹钳状构

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117790276A

    (43)申请公布日2024.03.29

    (21)申请号202311216221.8

    (22)申请日2023.09.20

    (30)优先权数据

    2022-154055202

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