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本发明公开了一种发光二极管外延片及其制备方法、LED,所述发光二极管外延片包括硅衬底,所述硅衬底上依次设有复合层、非掺杂GaN层、N型GaN层、多量子阱层、电子阻挡层、P型GaN层;所述复合层包括依次沉积在所述硅衬底上的Si3N4网格层、氮化石墨烯层、AlN层和ScAlN层。本发明提供的发光二极管外延片能够防止外延层龟裂,降低外延层位错密度,释放衬底与GaN外延层的应力,提高GaN外延层晶体质量,降低缺陷导致非辐射复合,提升发光二极管的发光效率。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117790654A
(43)申请公布日2024.03.29
(21)申请号202311830308.4
(22)申请日2023.12.28
(71)申请人江西兆驰半导体有限公司
地址3
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