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2024-03-30 发布于四川
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本发明公开了一种高精度位移驱动台，本发明涉及精密检测仪器技术领域；该高精度位移驱动台采用两个PZT压电陶瓷电机或音圈电机驱动机构作为位移输出机构，通过连接机构把位移输出给调节对象，再利用位置传感器测量调节对象的实际位移，并把实际位移值反馈给PZT压电陶瓷电机或音圈电机驱动机构，形成位置闭环，该位置闭环可以获得很小的静态误差和动态响应，从而达到位移输出的精确控制。利用若干温度传感器测试出系统安装底座的温度和环境温度，然后把系统安装底座温度和环境温度反馈给两个位置传感器，对位置传感器的测得位移值进行

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117784537A

(43)申请公布日2024.03.29

(21)申请号202410104118.2

(22)申请日2024.01.24

(71)申请人无锡埃瑞微半导体设备有限责任公

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