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本发明公开一种高精度、大动态范围的横向剪切干涉像差检测方法及装置；通过对干涉光强分布及调制度函数推导，分析了泽尼克像差、剪切率对调制度函数的影响，定量得到了不同剪切率时任意多波前横向剪切干涉仪的像差测量范围的对应关系；根据对应关系，在多波前横向剪切干涉系统进行像差检测时高效、精确地确定了仪器剪切率的范围，本发明装置使用灵活，无需更换分束器件类型，通过调节剪切率即可实现不同待测光学系统像差的高精度检测；另外，根据获得的对应关系可以合理选取较小的剪切率，以实现较大的动态检测范围。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117782535A
(43)申请公布日2024.03.29
(21)申请号202311814105.6
(22)申请日2023.12.27
(71)申请人北京理工大学
地址100081
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