原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种衍射光波导的制备方法及衍射光波导。该制备方法通过喷墨设备分别在不同的待喷墨区域喷涂光学胶以形成光学胶层，并通过控制喷墨设备的喷涂量，以使不同的待喷墨区域的光学胶层的胶层厚度不同。通过压印模板对不同的待喷墨区域的光学胶层进行压印，以在光学胶层形成光栅结构。对晶圆衬底进行曝光离膜，以形成衍射光波导。如此，通过喷墨设备仅在待喷墨区域喷涂光学胶，可以节省材料以及增加衍射光波导的透过率，此外，通过喷墨设备可以控制胶层厚度，使不同的待喷墨区域的光学胶层的胶层厚度不同，来匹配不同深度的光栅结构
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117772565A
(43)申请公布日2024.03.29
(21)申请号202311874269.8
(22)申请日2023.12.29
(71)申请人广纳四维（广东）
文档评论（0）