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2024-03-30 发布于四川
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一种高效氮化硅粉制备方法.pdf

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本发明涉及氮化硅粉生产技术领域，本发明公开了一种高效氮化硅粉制备方法，包括如下步骤：步骤一、将结晶硅装入球磨机中，加入球磨介质用球磨机进行球磨破碎，形成小于30微米的硅粉料；步骤二、向高温容器中通入氮气以排除容器内的空气，然后送电升温，使高温容器的温度达到300‑500℃并保温5‑10分钟；步骤三、将破碎好的硅粉料取出烘干得到硅干粉；本发明将高纯度的结晶硅研磨成超细的硅粉料，通过喷雾造粒的方式将烘干得到硅粉料喷吹内含有氮气的高温容器中，从而使硅粉料悬浮在氮气中进行氮化，增加了接触面积，提高硅粉的

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117776123A

(43)申请公布日2024.03.29

(21)申请号202311707870.8

(22)申请日2023.12.13

(71)申请人福建华清电子材料科技有限公司

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