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本公开提供了一种净化气体的控制方法及半导体设备，净化气体的控制方法包括：获取晶圆传送盒相对机台的位置信息和/或机台的运行信息；根据位置信息和/或运行信息，确定运行阶段；根据运行阶段，控制净化气体的流量。本公开中，通过获取晶圆传送盒相对机台的位置信息和/或机台的运行信息，以确定晶圆传送盒的运行阶段，并根据不同的运行阶段输出不同流量的净化气体，以使净化气体的流量与运行阶段相适配，不仅能够改善气体凝析导致半导体产品出现缺陷的问题，还能够节省净化气体流量，进而节省生产成本。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117772706A
(43)申请公布日2024.03.29
(21)申请号202211154979.9
(22)申请日2022.09.21
(71)申请人长鑫存储技术有限公司
地址23
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