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2024-03-30 发布于四川
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本申请涉及一种背接触太阳能电池的制备方法，通过在第一极性区和第二极性区分别设置第一掩膜层和第二掩膜层，然后在第一极性区和第二极性区的交界处进行不同程度的掩膜层损伤。由于第一掩膜层的第一区域完全去除，第二掩膜层的第二区域沿层叠方向的部分去除，因此在刻蚀第一极性区和第二极性区的过程中，第一极性区对应第一区域的位置会被完全刻蚀，从而形成隔离区；剩余的第二掩膜层会起到阻挡作用，使得第二极性区对应第二区域的位置不会被完全刻蚀，因而第二极性区不会形成隔离区。也即，只在第一极性区的边缘部分形成了隔离区，不仅解

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117790600A

(43)申请公布日2024.03.29

(21)申请号202311832129.4

(22)申请日2023.12.28

(71)申请人天合光能股份有限公司

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