PECVD虚拟装备仿真技术研究与应用.pdfVIP

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工艺与装备・组合机床与自动化加工技术

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文章编号：１００１—２２６５（２００８）０５—００５８～０５

ＰＥＣＶＤ虚拟装备仿真技术研究与应用米

苏玉鹏，朱文华，胡贵华，俞涛

（上海大学ＣＩＭＳ与机器人中心，上海２０００７２）

摘要：通过ＰＥＣＶＤ虚拟装备仿真系统的研究，构建了系统由虚拟装配仿真、工艺过程仿真和工程分析可

视化模块组成的技术结构和软硬件实现平台。以ＵＧＮＸ的二次开发为基础建立几何数据模型库，实现

了后续开发的数据类型转换。系统采用虚拟语言和引擎机制驱动场景变换，解释了罂动的原理和实现

过程。由等离子场和工程分析可视化的研究，总结了可视化的实现方法。仿真技术