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本申请提供了一种呆滞晶圆的处理方法、装置、电子设备及介质，该方法包括：按照预设时间间隔，获取所有在呆滞晶圆管理区域之外的所有晶圆的生产类型和生产状态，以及生产状态的持续时长；根据各晶圆的生产类型、生产状态和生产状态的持续时长，从所有晶圆中确定新增呆滞晶圆；对所有新增呆滞晶圆进行整合，得到多个整合呆滞晶圆；将各整合呆滞晶圆中的所有新增呆滞晶圆放置到同一载具中后，存储到呆滞晶圆管理区域内。本申请按照预设时间间隔对呆滞晶圆进行整合后存储到呆滞晶圆管理区域内，提高了呆滞晶圆的处理效率，从而提高机台生产效
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117808278A
(43)申请公布日2024.04.02
(21)申请号202311825175.1
(22)申请日2023.12.26
(71)申请人成都赛美特信息科
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