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一种用于加热基座的检测装置和工艺设备.pdfVIP

一种用于加热基座的检测装置和工艺设备.pdf

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    本发明公开了一种用于加热基座的检测装置和工艺设备，检测装置包括：检测模块；所述加热基座设有静电卡盘，所述静电卡盘通过一对电极并采用接触方式接入在卡盘电压输入线路中；所述检测模块并接在所述卡盘电压输入线路中，所述检测模块用于在所述卡盘电压输入线路切断对所述静电卡盘的电压输入时，通过所述卡盘电压输入线路与一对所述电极分别电性接通，以采集所述静电卡盘的电学特性值并反馈，可以方便地对静电卡盘的内部绝缘性能和电性接触性能进行判断并管控，确保了卡盘供能电源电压输入到静电卡盘上时的效率，从而保证了工艺的稳定性

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117810153A

    (43)申请公布日2024.04.02

    (21)申请号202311849688.6

    (22)申请日2023.12.28

    (71)申请人上海集成电路装备材料产业创新中

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