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本发明涉及产品缺陷检测技术领域，提供了一种晶圆表面缺陷的视觉检测方法及系统，包括：对晶圆视觉图像进行背景去除处理，得到无背景晶圆图像，提取无背景晶圆图像对应的图像尺寸参数，对无背景晶圆图像进行平滑处理，得到平滑晶圆图像；计算平滑晶圆图像对应的像素优化权重，对平滑晶圆图像进行图像优化处理，得到优化晶圆图像，对优化晶圆图像进行聚类分割处理，得到分割晶圆图像，对分割晶圆图像进行纹理去除，得到目标晶圆图像；计算图像形状矩之间的形状相似度；提取缺陷图像对应的缺陷特征，分析目标晶圆图像对应的缺陷类别，生成目
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117808809A
(43)申请公布日2024.04.02
(21)申请号202410231487.8G06T5/00(2024.01)
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