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本发明公开了一种基于腔内承载与悬臂梁支撑耦合结构的微机电法布里‑珀罗干涉仪，其中上基板、腔内承载墩，腔外承载层和下基板共同构成法布里‑珀罗腔体；上基板由基板载体、悬臂支撑梁、可动式圆弧悬臂梁和上镜面构成，上镜面不导电，基板载体、悬臂支撑梁、可动式圆弧悬臂梁共同作为上电极且具有一定电压；下基板由下镜面和下电极构成，下镜面接地，上电极和下电极等电势。在动态过程中，上基板必须尽可能保持垂直方向上的平动，否则会造成中心波长的漂移和极大的损耗。光学镜面与静电驱动器集于一体，匹配以合适的梁结构，便可以使光学
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117804513A
(43)申请公布日2024.04.02
(21)申请号202410003512.7
(22)申请日2024.01.02
(71)申请人河南师范大学
地址453007
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