GB/T 29057-2023用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程.pdf

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  •   |  2023-08-06 颁布
  •   |  2024-03-01 实施

GB/T 29057-2023用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程.pdf

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ICS77.040

CCSH80GB

中华人民共和国国家标准

GB/T29057一2023

代替GB/T29057-2012

用区熔拉晶法和光谱分析法评价

多晶硅棒的规程

PracticeforevaluationofpolocrystaHinesiliconrodsbyfloat-zone

crystalgrowthandspectroscopy

2023-08-06发布2024-03-01实施

国家市场监督管理总局4非

国家标准化管理委员会也叩

GB/T29057-2023

目。昌

本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第i部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

本文件代替GB/T29057-2012《用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶磁榕的规程》,与

GB/T29057-2012相比,除结构调整和编辑性改动外,主要技术变化如下:

a)删除了目的(见2012年版的第I章);

b)更改了范围〈见第1章,2012年版的第2章);

c)将第3章“局限性”改为第5靠“干扰因素”,并完善了干扰因素内容(见第5章,2012年版的

第3:f宫);

d)更改了方法提要(见第4章,2012年版的第6章h

e)增加了籽品的要求(见6.6);

f)增加了取样方案的选择(见9.8);

g)更改了试验数据处理(见第12章,2012年版的第13举h

h)更改了精密度〈见第13章,2012年版的第14章);

i)删除了关键词(见2012年版的第15章);

j)增加了试验报告(见第14章〉。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会CSAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准

化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。

本文件起草单位:青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、有色金属技术经济研究院有

限责任公司、亚洲硅业(青海)股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、四川永祥新能源有限公司、新疆

大全新能册、股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、新疆新特新能材料检测中心有限公司、陕

西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司、江苏鑫华半导体科技股份有限公司、宜昌南破硅材料有限公司、

青海丽豪半导体材料有限公司、乐山市产品质量监科检验所、新疆协鑫新能源材料科技有限公司。

本文件主要起草人:秦楠、薛心禄、李素晋、王志强、万烨、贺东江、岳峙、张孝山、赵生良、郭光伟、

陈雪刚、于生海、邓远红、王彬、邱艳梅、徐岩、刘国霞、万首正、回洪先、刘文明、赵小飞、梁棋、赵娟龙。

本文件于2012年首次发布,本次为第一次修订。

GB/T29057-2023

用区熔拉晶法和光谱分析法评价

多晶硅棒的规程

1范围

本文件规定了多品硅棒取样、将样品区熔拉制成单晶以及通过低温红外光谱法或光致发光光谱法

对拉制好的单晶硅

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认证主体北京标科网络科技有限公司
IP属地四川
统一社会信用代码/组织机构代码
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