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本发明提供一种光罩及光罩的检测方法，光罩包括基板主体；主图形区，间隔形成于所述基板主体上；透光区，位于每两个相邻的所述主图形区之间，在一个所述透光区中，包括靠近一所述主图形区的第一侧，和靠近另一所述主图形区的第二侧；以及标记图形，位于所述透光区的第一侧和第二侧；其中，所述透光区和所述标记图形的相位差为180°，以使得所述主图形边缘的光具有不同的相位。本发明使得主图形区边缘位置处的背景光强度趋近于零，增大了图形与背景的对比度，提高了曝光成像的品质。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117806116A
(43)申请公布日2024.04.02
(21)申请号202311797985.0
(22)申请日2023.12.25
(71)申请人深圳市辰中科技有限公司
地址5
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