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本实用新型公开了一种可调通导的低温泵用一级屏蔽挡板,涉及低温泵技术领域,包括动挡板、芯轴、静挡板、支撑块,所述动挡板通过芯轴活动连接在静挡板一侧,动挡板可绕芯轴相对于静挡板转动,动挡板活动安装在低温泵上,所述静挡板通过支撑块固定在低温泵内,所述动挡板上填充阵列有若干第一进气孔,所述静挡板上填充阵列有若干第二进气孔,气体分子从第一进气孔、第二进气孔重合的区域进入低温泵内。本实用新型提供的一种可调通导的低温泵用一级屏蔽挡板,结构简单,能够便于调节低温泵的抽速,使用范围广,使用方便,易于制造加工,成本
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220705923U
(45)授权公告日2024.04.02
(21)申请号202322300409.2
(22)申请日2023.08.25
(73)专利权人上海纳乇真空技术有限公司
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