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本发明提供一种将具有挠性的片状介质在浮起的状态下固定于规定位置的浮起支撑装置及外观检查装置。浮起支撑装置(6)具有：非接触吸附盘(8)，其将具有挠性的片状介质(2)维持在从多孔质板(31)浮起规定距离(H)的状态；以及吸附固定机构(9)，其固定在非接触吸附盘(8)的不与多孔质板重叠的位置。吸附固定机构具备：吸附用部件(42)，其具备吸附面(41)，该吸附面具有多个吸气口(42a)；空气流路(45)，其与多个吸气口连通；以及吸气机构(46)，其与空气流路连接。吸附面与多孔质板平行，位于距多孔质板规
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117800126A
(43)申请公布日2024.04.02
(21)申请号202311258391.2
(22)申请日2023.09.26
(30)优先权数据
2022-158066202
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