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本实用新型涉及调节装置技术领域，具体的是一种电子束电镜中的Rz方向微动调节装置，调节装置包括转动块一和转动块二，转动块一同轴心的转动设于转动块二上，转动块一上设有调节组件，调节组件包括螺纹杆和滑动轴，螺纹杆与滑动轴螺纹连接，转动块一上设有直槽一，转动块二上设有直槽二，直槽一位于直槽二的上方，且直槽二与直槽一交叉设置，滑动轴同时与直槽一、直槽二滑动连接。本实用新型调节装置，通过设计两个呈一定夹角的直槽，根据实际调节的精度来调节该夹角，旋转转动设置在转动块一上的螺纹杆，利用螺纹杆来驱动滑动轴在两个直
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220710237U
(45)授权公告日2024.04.02
(21)申请号202322291712.0
(22)申请日2023.08.24
(73)专利权人上海大尘微影半导体科技有限公
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