差分电容位移传感器的标定方法.pdfVIP

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2024-04-03 发布于四川
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差分电容位移传感器的标定方法.pdf

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本发明提供一种差分电容位移传感器的标定方法，包括以下步骤：S1、分别以定极板和动极板的中心为原点建立坐标系A和B；S2、确定初始位置B0，并进行平动坐标点选定；S3、将动极板依次移动到选定的坐标点记录电压值；S4、求解坐标系B与坐标系A之间的平移矩阵、旋转矩阵和平动自由度的电容传感增益系数矩阵；S5、将坐标系A和B重合；S6、进行旋转坐标选定，并测量所需旋转自由度的电容传感增益系数。本发明可在动极板和定极板的相对位置不确定的条件下进行电容传感增益系数的标定，相比于现有方法，无须增加额外的位置测量

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN115560659A

(43)申请公布日2023.01.03

(21)申请号202211307951.4

(22)申请日2022.10.25

(71)申请人中国科学院长春光学精密机械与物

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