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本发明公开了一种用于MEMS传感器的原位应力测量装置，属于微电子器件加工制造领域。在MEMS传感器受到外界应力变化时，应力通过应力输入端到达挠性扭转梁，通过杠杆放大的杠杆梁进入挠性折叠梁区域，折叠梁上的金属应变丝感受应力变化，产生电阻值变化。本发明既可以实现MEMS传感器高精度的原位应力测量，又采用与MEMS传感器兼容的工艺制备，同时加工，片上集成，不会增大原本器件的制作难度。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117804652A
(43)申请公布日2024.04.02
(21)申请号202311865237.1
(22)申请日2023.12.28
(71)申请人华中科技大学
地址430074
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