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本申请提供了一种TOPCon太阳能电池及其制备方法和光伏组件,涉及光伏技术领域,其中,TOPCon太阳能电池的制备方法包括制绒、正面硼扩散、背面刻蚀、沉积氧化隧穿层和非晶硅层、背面磷扩散、正面刻蚀、钝化硼扩散面、钝化磷扩散面以及丝网印刷,本申请在进行背面磷扩散时,至少进行三次沉积和三次推进,形成的掺杂多晶硅层的掺杂浓度曲线的切线斜率为k,10%≤|k|≤40%,且|k|呈增大趋势,如此设置,在掺杂多晶硅层的表面掺杂浓度较高,有利于TOPCon太阳能电池在丝网印刷烧结之后,形成欧姆接触,从而有利于
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117810312A
(43)申请公布日2024.04.02
(21)申请号202311771600.3
(22)申请日2023.12.21
(71)申请人浙江晶科能源有限公司
地址31
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