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2024-04-03 发布于四川
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本发明公开了一种电子级三氯氢硅提纯装置及方法，该装置包括：粗馏塔组，包括至少n个串联的粗馏塔，其中，n≥3，粗馏塔为填料塔，粗馏塔的第2～n级的任意一级粗馏塔的填料上设置有吸附单元，吸附单元用于吸附除去粗三氯氢硅中含有硼、磷的杂质，粗馏塔组用于通过粗馏分离除去粗三氯氢硅中的轻组分、重组分杂质；精馏塔，与粗馏塔组连接，精馏塔用于通过精馏得到电子级三氯氢硅。本发明实现三氯氢硅粗馏提纯、吸附除杂的融合，可以在粗馏过程中有效除去三氯氢硅中微量的杂质，大大提高了三氯氢硅提纯效率；吸附单元设置于粗馏塔填料之

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN115105850A

(43)申请公布日2022.09.27

(21)申请号202210716920.8B01D15/00(2006.01)

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