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一种可相变的纳米片状VO2薄膜的制备方法.pdfVIP

一种可相变的纳米片状VO2薄膜的制备方法.pdf

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    本发明公开了一种可相变的纳米片状VO2薄膜的制备方法，采用低温液相沉积法合并氮气气氛热处理制备纳米片状VO2薄膜，其技术特征如下：以一定的摩尔比配制硫酸氧钒和乳酸的混合溶液，于室温下搅拌使其充分络合，使用氨水调节络合溶液的pH值在3.2~4.4范围，之后放入表面洁净的玻璃等基板，沉积反应温度控制在60℃~90℃范围，沉积反应一定时间后即获得的纳米片状前驱体薄膜；所得前驱体薄膜在一定氮气流速下，于一定温度下退火后即得纳米片状VO2薄膜。本发明提供了一种反应温度低、基底要求低、能耗低、可大面积成膜的

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN115323361A

    (43)申请公布日2022.11.11

    (21)申请号202210821195.0

    (22)申请日2022.07.12

    (71)申请人安徽建筑大学

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