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本发明公开了一种空间六自由度微动平台,包括静平台,动平台,柔性铰链和薄片驱动器;静平台和动平台之间设置有环形柔性铰链;环形柔性铰链的上端面上竖直设置有上层柔性铰链;环形柔性铰链的下端面上竖直设置有下层柔性铰链;环形柔性铰链内设置有十字形柔性铰链;十字形柔性铰链的四个支脚的下端面均设置有压电薄片驱动器A;十字形柔性铰链的四个支脚的相同方向的侧面上均设置有压电薄片驱动器B;十字形柔性铰链的一个支脚的另外一侧面设置有压电薄片驱动器C;与压电薄片驱动器C相邻的一个支脚的另外一侧面设置有压电薄片驱动器D。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN109531519A
(43)申请公布日
2019.03.29
(21)申请号20181
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