一种硅片隐裂视觉检测方法及装置.pdfVIP

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  • 2024-04-03 发布于四川
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本发明涉及机器视觉缺陷检测技术领域,更具体地说,它涉及一种硅片隐裂视觉检测方法及装置,检测方法包括以下步骤:获取硅片图像;对硅片图像进行优化,以增强图像的对比度,得到优化图像;对优化图像进行傅里叶变换,得到其频域图像;使用带通滤波器对频域图像进行过滤,得到过滤频域图像;对过滤频域图像进行傅里叶逆变换,得到其空域图像;根据空域图像,提取潜在隐裂区域;根据各潜在隐裂区域的特征,判断硅片是否具有隐裂缺陷;其中,所述特征包括潜在隐裂区域的面积和数量中的一个或两个。相对于现有技术中的人工肉眼检测,本发明的

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117808723A

(43)申请公布日2024.04.02

(21)申请号202211155322.4G06T7/11(2017.01)

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