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2024-04-03 发布于四川
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本实用新型提供一种矫正治具和晶圆抓手安装矫正装置，涉及晶圆转运技术领域，该矫正治具用于矫正调节放置圈与机械臂之间的相对位置，矫正治具包括第一固定板和第二固定板，第一固定板用于贴合于机械臂的侧壁，第二固定板与第一固定板折弯连接，且第二固定板的内侧设置有第一定位柱和第二定位柱，第一定位柱用于穿过调节放置圈的定位开口并插入机械臂上的轴孔，第二定位柱用于穿过定位开口两侧的矫正孔，并插入轴孔两侧的定位孔。相较于现有技术，本实用新型提供的矫正治具，能够实现调整放置圈与机械臂之间的同心矫正，矫正效果好，并能够

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220698803U

(45)授权公告日2024.04.02

(21)申请号202321941807.6

(22)申请日2023.07.21

(73)专利权人甬矽半导体（宁波）有限公司

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