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本发明涉及精密设备领域，特别公开一种纳米载物台和晶圆缺陷检测设备，所述纳米载物台包括驱动器和负载平台，所述驱动器包括外壳、转动件及多个压电陶瓷，所述外壳具有安装槽；所述转动件和多个所述压电陶瓷均安装于所述安装槽内，多个所述压电陶瓷环绕所述安装槽的周缘间隔排布，且所述转动件位于所述安装槽的中心位置，并与多个所述压电陶瓷间隔设置；多个所述压电陶瓷用于被施加锯齿波电流；所述负载平台与所述转动件背向所述安装槽的槽底的一端连接，以使所述负载平台通过所述转动件可相对所述外壳转动；且所述负载品台与多个所述压电
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117810158A
(43)申请公布日2024.04.02
(21)申请号202311740959.4
(22)申请日2023.12.15
(71)申请人季华实验室
地址528200
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