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本发明提供一种光刻机投影物镜像方视场的在线测量装置及测量方法，属于投影光刻性能检测领域，旨在解决现有技术中由于投影物镜像方视场较大、没有足够大尺寸的探测器直接在线测量的技术问题，其中，所述在线测量装置包括探测器、掩模板、掩模台和工件台，所述掩模板的中心具有长方形孔，在线测量时，光束将掩模板的长方形孔经所述投影物镜成像到像面处，所述探测器探测所述像面处的成像，所述在线测量装置及所述测量方法基于掩模板标记成像的方式，解决了现有技术中存在的投影物镜像方视场较大、没有足够大尺寸的探测器进行直接测量的问题
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN108508709A
(43)申请公布日
2018.09.07
(21)申请号20181
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