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刻蚀设备电极、制备方法及刻蚀设备.pdfVIP

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  • 2024-04-06 发布于四川
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刻蚀设备电极、制备方法及刻蚀设备.pdf

    本申请涉及刻蚀技术领域的一种刻蚀设备电极、制备方法及刻蚀设备，刻蚀设备电极包括：电极板；多个微型结构，至少均匀布置于所述电极板的一侧的表面。本申请的刻蚀设备电极可以吸附刻蚀工艺副产物，形成一层保护层，避免了电极板和等离子体直接接触，降低了电极板消耗速率，提升了电极板的使用稳定性和使用寿命，降低了对晶圆生产的影响。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117832053A

    (43)申请公布日2024.04.05

    (21)申请号202311575223.6

    (22)申请日2023.11.23

    (71)申请人北京子牛亦东科技有限公司

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