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本发明提供了一种等离子体发生器,属于等离子体设备领域。上述等离子体发生器,主要包括阴极部分、引弧部分和阳极部分。其中引弧部分设置在阴极部分与阳极部分之间,用于在阳极部分与阴极部分之间引发电弧,电弧将工作气体进行电离产生等离子体,等离子体通过阳极部分喷出。阴极部分包括阴极座和阴极头;阴极座的座体包括冷却通道;阴极头与座体连接。通过进水口将冷却水通入到冷却通道中,冷却水在流经阴极头时带走一部分热量,从而使得阴极头能够被有效冷却;进而提高阴极头的使用寿命。另外,将引弧部分设置在阴极头和阳极本体之间,其
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN110677974A
(43)申请公布日
2020.01.10
(21)申请号20191
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