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一种惯性传感器及其制备方法、电子设备.pdfVIP

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  • 2024-04-06 发布于四川
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一种惯性传感器及其制备方法、电子设备.pdf

    本公开提供一种惯性传感器及其制备方法、电子设备，属惯性微机电系统技术领域，其中，惯性传感器被划分为至少一个器件单元，器件单元具有功能区和围绕功能区的键合区；惯性传感器包括介质基板、盖板和设置在介质基板和盖板之间的器件层；介质基板具有沿其厚度方向相对设置的第一表面和第二表面；盖板具有沿其厚度方向相对设置的第三表面和第四表面；第二表面和第三表面相对设置；介质基板具有贯穿其部分厚度的第一凹槽，且第一凹槽的第一开口位于第一表面；盖板具有贯穿其部分厚度的第二凹槽，且第二凹槽的第二开口位于第四表面；第一凹槽

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117819469A

    (43)申请公布日2024.04.05

    (21)申请号202211189553.7

    (22)申请日2022.09.28

    (71)申请人北京京东方光电科

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