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一种氧化铪基铁电薄膜、电容结构、晶体管及制备方法.pdfVIP

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  • 2024-04-06 发布于四川
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一种氧化铪基铁电薄膜、电容结构、晶体管及制备方法.pdf

    本发明公开了一种氧化铪基铁电薄膜、电容结构、晶体管及制备方法，氧化铪基铁电薄膜包括：依次层叠设置的第一掺杂氧化铪基铁电薄膜层、第二掺杂氧化铪基铁电薄膜层和第三掺杂氧化铪基铁电薄膜层；所述第一掺杂氧化铪基铁电薄膜层的材质为：Hf1‑xMxOy1；所述第二掺杂氧化铪基铁电薄膜层的材质为：Hf1‑xMxOy2；所述第三掺杂氧化铪基铁电薄膜层的材质为：Hf1‑xMxOy3；其中，M为掺杂元素，y1和y3均大于y2。本发明氧化铪基铁电薄膜，采用叠层结构氧分布的铁电薄膜，通过改变氧含量调控相关性能，使得薄膜

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN114988470A

    (43)申请公布日2022.09.02

    (21)申请号202210585655.4

    (22)申请日2022.05.26

    (71)申请人湘潭大学

    地址411100湖

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