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一种基于CNN的STM硅基直写工艺过程关键特征图像分类方法.pdfVIP

一种基于CNN的STM硅基直写工艺过程关键特征图像分类方法.pdf

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    本发明涉及计算机深度学习、扫描隧道显微镜、硅基量子芯片技术领域，且公开了一种基于卷积神经网络的STM硅基直写工艺过程关键特征图像分类方法。该方法包括：步骤S1，从扫描隧道显微镜图像数据库中获取STM直写目标典型图像样本，并对样本进行预处理；步骤S2，搭建卷积神经网络，搭建用于STM直写目标的分类模型；步骤S3，通过分类模型对STM直写目标典型图像样本进行识别分类；步骤S4，对图像样本所得的分类结果进行评价，得出最优的分类模型；步骤S5，基于最优的分类模型，进行STM直写目标图像分类。本发明可以利

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117830693A

    (43)申请公布日2024.04.05

    (21)申请号202311667303.4

    (22)申请日2023.12.05

    (71)申请人深圳国际量子研究

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