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本发明公开了一种约瑟夫森结及其制造方法。制造方法包括：在衬底上形成掩膜，掩膜具有露出衬底的窗口、第一沟道和第二沟道，第一沟道和第二沟道分别沿相互垂直的第一方向和第二方向延伸，且均连通窗口；沿第一方向进行倾斜镀膜，在窗口内形成第一超导板以及在第一沟道内形成连接第一超导板的第一超导线；在第一超导板表面形成势垒层；沿第二方向进行倾斜镀膜，在窗口内形成至少部分位于势垒层上的第二超导板以及在第二沟道内形成连接第二超导板的第二超导线。本发明能够消除沟道宽度对约瑟夫森结电阻的限制，特别适合制造小电阻的约瑟夫森
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117835802A
(43)申请公布日2024.04.05
(21)申请号202311704332.3
(22)申请日2023.12.12
(71)申请人本源量子计算科技（合肥）股份有限
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