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本发明是一种雾化CVD成膜装置(1)，具备成膜室(10)和加热器(20)：成膜室(10)具备：使包含成膜原料的雾和载气的成膜雾(6)流入的开口即雾流入口(12)、载置成膜对象物(30)的工作台(11)以及使成膜雾(6)流出的开口即雾流出口(13)；加热器(20)加热工作台(11)；将在工作台(11)上方以与成膜雾(6)的流通方向正交的截面进行切断而得的切断面中的成膜室(10)内的空间的截面积即成膜室内截面积(S1)、与以与成膜雾(6)的流通方向正交的截面切断雾流出口(13)而得的切断面中的雾流出
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117836466A
(43)申请公布日2024.04.05
(21)申请号202280053839.4(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限
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