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本发明公开了一种光学镀膜用电子束蒸发镀膜机智能监控系统,属于光学镀膜领域,用于解决无法对电子束蒸发镀膜机的工作状况进行分析和判定,且产品的质量检测精确欠佳的问题,包括镀膜质检模块、运行分析模块和故障判定模块,所述运行分析模块用于对电子束蒸发镀膜机的工作状态进行分析,得到电子束蒸发镀膜机的运行偏离值,所述故障判定模块用于对电子束蒸发镀膜机的工作状态进行故障判定,生成正常运行信号或故障检测信号,所述镀膜质检模块用于对光学零件的镀膜质量进行检测,生成镀膜残次信号、镀膜合格信号或镀膜优质信号,本发明方便
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117821908A
(43)申请公布日2024.04.05
(21)申请号202311617030.2
(22)申请日2023.11.30
(71)申请人江苏微凯机械有限公司
地址22
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