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本发明公开一种具有沟槽形支撑层的FBAR传感器，本体从上至下依次设置为上电极，压电薄膜、下电极和支撑层，所述支撑层上设置有沟槽；旨在通过支撑层开槽设计提高氧化锌薄膜体声波谐振器的谐振性能，其属于压电声波器件领域。本发明通过沟槽形支撑层的结构设计改变了谐振器内部质点振动能量的分布，在原本的情况下，支撑层为完整矩形的谐振器在进行一阶厚度剪切振动时，其内部振动能量分布为从中心向两边逐渐减弱为近似为零。然而，通过引入这一发明的沟槽形支撑层结构，谐振器内部振动能量会向中心集中，从而降低模态耦合，提升其作为
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117824824A
(43)申请公布日2024.04.05
(21)申请号202311650218.7
(22)申请日2023.12.05
(71)申请人南京航空航天大学
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