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本申请涉及半球谐振陀螺技术领域，尤其是涉及一种石英半球谐振子去重修调设备。石英半球谐振子去重修调设备包括工件台和离子束发生器，工件台活动设置，工件台能够带动放置于其上的工件沿X轴方向滑动、绕θ轴旋转以调节俯仰角度、绕r轴自转。离子束发生器与工件台沿X轴方向间隔设置，离子束发生器引出的离子束经过束径约束器后作用于工件上，束径约束器的位置沿Y轴方向和Z轴方向可调。因此，通过沿X轴方向调节工件的位置，能够实现对离子束流作用面积的精细控制。同时，工件可自转，以及调节俯仰角度，同时离子束流可沿Y轴方向和Z
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117824705A
(43)申请公布日2024.04.05
(21)申请号202311863915.0
(22)申请日2023.12.29
(71)申请人北京创世威纳科技有限公司
地址
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