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提供一种半导体装置,具备:第一导电型的漂移区,其设置于具有正面和背面的半导体基板;以及第一导电型的缓冲区,其设置于比所述漂移区更靠所述半导体基板的所述背面侧的位置,所述缓冲区具有包括掺杂浓度的一个或多个浓度峰的浓度峰组,所述浓度峰组包括第一浓度峰,所述第一浓度峰是在所述半导体基板的深度方向上,在所述一个或多个浓度峰中设置于最靠所述半导体基板的所述背面侧的浓度峰,所述半导体基板包括第一氢峰,所述第一氢峰示在所述半导体基板的深度方向上设置于与所述第一浓度峰的深度位置相同的位置或者比所述第一浓度峰的深
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117836949A
(43)申请公布日2024.04.05
(21)申请号202380013271.8(74)专利代理机构北京铭硕知识产权代理有限
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