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- 2024-04-06 发布于四川
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本发明涉及一种六自由度误差校正方法及设备，所述设备包括六轴校正载台、自准直测量装置、分光件、远心影像测量装置以及控制器。其中，六轴校正载台用于承载待测件，自准直测量装置沿测量光轴设于六轴校正载台上方，分光件设于测量光轴上并介于六轴校正载台与自准直测量装置之间，远心影像测量装置设于测量光轴一侧并对应于分光件。所述方法通过控制器控制六轴校正载台根据自准直测量结果校正待测件至少两个自由度的偏转误差，并控制六轴校正载台根据远心影像测量结果校正待测件至少三个自由度的位移误差及偏摆误差。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117824506A
(43)申请公布日2024.04.05
(21)申请号202211189965.0
(22)申请日2022.09.28
(71)申请人致茂电子（苏州）有限公司
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