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碳化硅粉料连续合成设备和方法.pdfVIP

碳化硅粉料连续合成设备和方法.pdf

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    本发明的实施例提供了一种碳化硅粉料连续合成设备和方法，涉及碳化硅合成技术领域，该设备包括反应炉、加热环、气体控制装置、吊装旋转装置和承载装置，在反应炉内由上至下依次设置进料过渡仓、反应仓和出料过渡仓，在反应仓的周围设置加热环实现反应加热，并通过气体控制装置来控制炉内的气氛类型和气压。在反应炉的顶部设置吊装旋转装置，在反应炉的底部设置承载装置。相较于现有技术，本发明实施例提供的碳化硅粉料连续合成设备，能够实现向反应炉内连续加入坩埚，实现不间断式的粉料合成动作，从而实现了碳化硅粉料的连续合成，大大提

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117816047A

    (43)申请公布日2024.04.05

    (21)申请号202410252044.7

    (22)申请日2024.03.06

    (71)申请人通威微电子有限公司

    地址610

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