一种金属有机化学气相沉淀设备.pdfVIP

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本实用新型涉及化学气相沉积技术领域,且公开了一种金属有机化学气相沉淀设备,包括设备主体,所述设备主体的表面固定安装有把手,所述设备主体的内壁设置有调节机构;所述调节机构包括抽液泵,所述抽液泵固定安装于设备主体的顶部,所述抽液泵的底部固定连通有伸缩软管,所述伸缩软管的数量为两个,所述设备主体的内壁滑动安装有移动台。该金属有机化学气相沉淀设备,能够在使用者利用设备主体进行金属有机化学气相沉淀实验时,使用者可以调节喷淋头的位置对设备主体内进行气相沉淀的物质进行全面地喷淋,避免喷淋范围小导致部分位置未接

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220724333U

(45)授权公告日2024.04.05

(21)申请号202322056340.3

(22)申请日2023.08.02

(73)专利权人河北秋胜商贸有限公司

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