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用于确定图案化过程参数的方法和设备.pdfVIP

用于确定图案化过程参数的方法和设备.pdf

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    一种方法，所述方法包括：获得由来自衬底的多个结构中的每个结构重新引导的辐射的所检测的表示，所述衬底上另外具有器件图案，其中每个结构具有相应结构的与所述相应结构的相应名义实体配置相比有意不同的实体配置，其中每个结构在所述相应名义实体配置的情况下具有几何对称性，其中所述结构的有意不同的实体配置造成不对称光学特性分布，并且其中图案化过程参数测量所述实体配置的改变；和基于所检测的表示且基于有意不同的实体配置来确定值，以设置、监控或校正用于确定所述图案化过程参数的测量选配方案。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN111630455A

    (43)申请公布日

    2020.09.04

    (21)申请号201880087

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