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本公开涉及用于音频部件的圆柱形MEMS结构。本主题技术的各方面涉及电子设备，该电子设备具有扬声器，诸如微机电系统(MEMS)扬声器。MEMS扬声器可包括圆柱形波纹状MEMS结构。该圆柱形波纹状MEMS结构可包括连续MEMS结构，该连续MEMS结构具有波纹，这些波纹围绕开放圆柱形芯延展，该开放圆柱形芯部分地由该波纹的内部褶皱限定。该圆柱形波纹状MEMS结构可响应于所施加的电压而变形，使得该圆柱形波纹状MEMS结构的一部分弯曲进入和/或离开该开放圆柱形芯，以将空气推出和/或将空气拉入该开放圆柱形芯。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117857991A
(43)申请公布日2024.04.09
(21)申请号202311283478.5
(22)申请日2023.10.07
(30)优先权数据
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