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本发明涉及偏心度检测技术领域，具体提供一种圆光栅刻划的偏心修正装置及方法，将圆光栅胚体放置在二维运动滑台上，转动精密转台，测量圆光栅胚体的偏心量，并将偏心量调整到预期值；在圆光栅胚体上刻划辅助码道，利用读数头对辅助码道进行误差测量，计算偏心值最大时的相位角和角度误差，再通过二维运动滑台调整圆光栅胚体的位置，使读数头的读数为偏心值最大时的相位角与角度误差的差，最后刻划工作码道。本发明通过在工作码道刻划前先刻划一条辅助码道，可以检测圆光栅胚体首次调偏心后残留的偏心误差参数，再利用读数头测量偏心量精度
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117848203A
(43)申请公布日2024.04.09
(21)申请号202410020635.1
(22)申请日2024.01.05
(71)申请人长春长光启衡传感技术有限公司
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