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本发明公开了一种自动化硅片脱胶机及其脱胶方法,涉及硅片脱胶机技术领域,一种自动化硅片脱胶机,包括:加热箱,所述加热箱中设置有旋转的连接带,所述连接带呈矩形,所述连接带外壁上设置有多个安装杆;本发明通过设置循环旋转的连接带,带动多个安装框往复循环进入到加热箱中,对安装框中清洗框内的硅片进行加热除胶,并通过相对设置的第一喷管、第二喷管,对清洗框内的硅片喷射除胶介质,进一步提高除胶效果,再由能够改变与安装框之间角度的连接臂,由其上设置的喷孔从上向下,向清洗框中再次喷射除胶介质,进一步配合第一喷管、第二
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117855093A
(43)申请公布日2024.04.09
(21)申请号202311799257.3
(22)申请日2023.12.25
(71)申请人苏州晶樱光电科技有限公司
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