同轴共聚焦气固反应激光剥蚀池及使用方法.pdfVIP

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2024-04-10 发布于四川
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同轴共聚焦气固反应激光剥蚀池及使用方法.pdf

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本发明公开了一种同轴共聚焦气固反应激光剥蚀池及使用方法，同轴共聚焦气固反应激光剥蚀池包括反应通道、密封座、聚焦镜、剥蚀激光器和加热激光器，反应通道包括反应第一端部和反应第二端部，反应第一端部内密封安装有激光镜片；密封座与反应第二端部可拆卸连接；聚焦镜位于反应通道的外侧，且靠近激光镜片设置；剥蚀激光器和加热激光器发射的激光进入反应通道内，本发明使用时先将样品放入反应通道内，将各部件固定密封，通入适量的载气和反应气，剥蚀激光器对反应通道内的氧化物样品进行剥蚀，完成剥蚀后，加热激光器开启，对反应通道内

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117855021A

(43)申请公布日2024.04.09

(21)申请号202311694624.3

(22)申请日2023.12.08

(71)申请人中国地质大学（武汉）

地址43

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