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一种氦液化及不同温度等级氦气冷源供给装置，它包括集成换热器、氦气压缩机、高/低温氦气膨胀机、J‑T节流阀、真空杜瓦罐、气液分离罐、流路截止阀，其特征在于所述氦气压缩机进口分别连接氦气缓冲罐进口、截止阀进口、复温氦气截止阀出口、氦气补充截止阀出口，氦气补充截止阀进口连接氦气源，所述氦气压缩机出口通过压缩氦气止回阀分别连接氦气缓冲罐出口截止阀出口、水冷却器进口，它具有结构合理，使用控制方便，结构简单，从而降低使用成本，提高工作效率等特点。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN110398132A
(43)申请公布日
2019.11.01
(21)申请号20191
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