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本发明属于超声换能器技术领域。公开一种大带宽的阵列式超声换能器装置，包括：衬底；PMUT单元阵列，具有至少两个PMUT单元，多个PMUT单元围绕一轴心布置在衬底上以形成阵列，相邻两PMUT单元中心点间距被配置为第一间距以增强互阻抗，以及，多个背腔，开设在衬底远离PMUT单元一侧，每一背腔内具有一PMUT单元，多个所述背腔被配置为第一长度以增强阻抗。本发明能够实现在衬底上设置多个呈阵列布置的PMUT单元，使得PMUT单元之间通过声学路径相互作用产生互阻抗，互阻抗可以提供额外的声学阻尼，使得PMUT
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117840017A
(43)申请公布日2024.04.09
(21)申请号202410105954.2
(22)申请日2024.01.25
(71)申请人华中科技大学
地址430074
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